一张图看懂高纯溅射靶材新材料在线2016年05月基础知识01高纯溅射靶材的简介溅射利用离子源产生的离子，在真空中经过加速聚集，而形成高速度能的离子束流，轰击固体表面，离子和固体表面原子发生动能交换，使固...
