识别风险，发现价值请务必阅读末页的免责声明1/24[Table_Page]深度分析|半导体证券研究报告[Table_Title]半导体设备国产替代趋势月度跟踪5月气液系统招标量居多，清洗设备国产化中标比例领先[Table_Summary]核心观点：⚫5月合计39项招标，以华虹、积塔、中芯国际招标为主，招标设备主要包括气液系统、测试机、量测设备等品类。根据采招网的数据，2024年5月，统计样本中的晶圆产线合计产生39项招标。以华虹半导体、积塔半导体、中芯国际等产线招标为主。招标设备主要包括气液系统、测试机、量测等品类。2024年1-5月，统计样本中的晶圆产线合计招标243项，其中，华虹半导体、积塔半导体、燕东科技的招标量位居前三。整体而言，设备招标以量测、测试机、刻蚀为主。⚫5月合计15项中标，以测试机、炉管、探针台设备居多，国产设备整体中标比例约7%，清洗设备的国产中标比例显著。中标方面，根据采招网的数据，2024年5月，统计样本中的晶圆产线上合计中标15台设备，以测试机、炉管、探针台设备居多；国产设备整体中标比例约7%，其中，清洗设备的国产中标比例显著。2024年1-5月，统计样本中的晶圆产线合计中标679台设备，以气液系统、扩散、探针台设备居多；国产设备整体中标比例约30%，其中，去胶、气液系统、检测设备的国产中标比例较高。⚫1-5月统计样本中的国内设备厂商共中标39台设备，以屹唐半导体、上海微电子、北方华创中标量领先，在对应工艺环节的中标比例为13%。根据采招网的数据，2024年5月，芯源微中标1台清洗设备，在对应工艺环节的中标比例为100%。2024年1-5月，统计样本中的国内半导体设备厂商合计中标39台设备，屹唐半导...
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