全球传感器市场研究报告新材料在线产业研究院化工新材料研究组2016年4月一、基础知识2传感器—万物互联的基础传感器是一种检测装置,能感受到被测量的信息,并将检测感受到的信息,按一定规律转换成为电信号或其他所需形式的信息输出,以满足信息的传输、处理、计量、存储等要求。传感器技术、RFID标签、嵌入式系统技术是实现物联网的三大关键技术!传感器的定义示意图3传感器的分类及应用领域传感器分类按工作原理分物理传感器、化学传感器按用途分液位传感器、能耗传感器、速度传感器等按制作工艺分集成传感器、薄膜传感器、层膜传感器、陶瓷传感器应用领域工业及汽车电子产品通信电子产品消费电子产品其他专用设备4全球传感器发展历程1594以伽利略为代表的一些科学家开始了压力测量的实验法国科学家路辛·维蒂用1843弹簧平衡代替液体测量大气压力第一个压力传感器出现,转导机制19301938加州理工的西蒙斯和麻省理工的鲁奇分别独立研制出电塔森推出了具有良好稳定性和子应变计低磁滞的第一代薄膜传感器1960玻璃或石英为基础的电容1973传感器电容传感器弥补了薄膜传感器1979所不适合的低压力范围差距智能传感器陆续出现20世纪80~90年代5MEMS——未来传感器主流工艺微电子机械系统(MEMS)是由半导体制造技术发展而来,是一种把微型机械元件(如传感器)与电子电路集成在同一颗芯片上的半导体技术。MEMS工艺优势:面积优化边长与面积关系,单体微型化,材料利用率成几何增速结构非平面结构中实现扁平化,如薄膜线圈数量单批基片生产数量增多,材料、能源、人设备仪器力利用率大幅增加工艺控制能力出众,成品率、可靠性、寿命等...
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