半导体前道量检测设备行业报告(二)：先进制程关键设备，电子束检测正崛起-240625-国海证券-41页

证券研究报告专用设备2024年06月25日半导体前道量检测设备行业报告（二）：先进制程关键设备，电子束检测正崛起评级：推荐(维持)姚健(证券分析师)杜先康(证券分析师)S0350522030001S0350523080003yaoj@ghzq.com.cnduxk01@ghzq.com.cn最近一年走势专用设备沪深300相关报告6%《半导体前道量检测设备行业报告：重点产品持续突破，国产替代正在加速-1%（推荐）专用设备杜先康，姚健》——2024-01-19-9%-16%-23%-31%2023/09/242023/12/232024/03/222024/06/202023/06/26沪深300表现1M3M12M-9.3%-12.6%-18.9%表现-3.5%-1.9%-10.0%专用设备沪深300重点公司代码股票名称2024/06/242023EPS2025E2023PE2025E投资评级股价2024E2024E300567.SZ精测电子0.541.45106.4339.63买入688012.SH中微公司57.472.881.004.2151.2257.4735.04未评级688361.SH中科飞测147.510.443.300.95120.3444.7055.74未评级东方晶源52.95—0.63—84.05———————资料来源：iFinD资讯，国海证券研究所未评级公司盈利预测取自iFinD一致预期请务必阅读报告附注中的风险提示和免责声明3u电子束检测是先进制程关键设备Ø随着集成电路工艺节点减小，缺陷尺寸减小、缺陷密度增加、漏检风险逐渐提升，受益加速电压下的波长优势，电子束检测技术精度较高，且对于电性缺陷具有独特的识别能力。先进制程及其配套产业链或将成为大基金三期的重点发力方向，半导体前道量检测设备目前国产化率仅个位数，电子束检测设备是先进制程芯片良率的关键保障，未来有望加速发展。u国内电子束检测设备市场有望快速发展Ø我们测算，2024/2025年全球半导体量检测设备市场空间分别为159/196亿美...