证券研究报告·机械行业深度报告半导体封装设备行业深度:后摩尔时代封装技术快速发展封装设备迎国产化机遇证券分析师:周尔双执业证书编号:S0600515110002联系邮箱:zhoues@dwzq.com.cn研究助理:李文意执业证书编号:S0600122080043联系邮箱:liwenyi@dwzq.com.cn2024年4月15日请务必阅读正文之后的免责声明部分⚫后摩尔时代渐进,先进封装快速发展。随着先进制程工艺逐渐逼近物理极限,越来越多厂商的研发方向由“如何把芯片变得更小”转变为“如何把芯片封得更小”,先进封装快速发展。先进与传统封装最大区别在于芯片与外部电连接方式,先进封装省略引线,采取传输速度更快的凸块、中间层等,主要包括凸块(Bump)、倒装(FlipChip)、晶圆级封装(Waferlevelpackage)、再分布层技术(RDL)和硅通孔(TSV)技术等。⚫我国封测产业链较为成熟,但封装设备国产化率较低。2022年全球委外封测(OSAT)厂商前十大合计占比约78%,基本被中国台湾和中国大陆厂商包揽,中国台湾日月光、安靠等合计占比约41%,中国大陆长电科技、通富微电占等合计占比约25%;但国内缺乏知名封装设备商,封装设备国产化率不超过5%,主要系产业政策向制程设备等有所倾斜,我们认为未来自主可控背景叠加国产设备商突破,封装设备的国产化率有望进一步提升。⚫传统&先进封装所需设备有一定重合但工艺要求有所变化,设备增量主要在于前道图形化设备。(1)传统后道设备:①减薄机:可分为转台式磨削和硅片旋转磨削两种方式,先进的多层封装芯片厚度都在100μm以下甚至30μm以下,增大减薄难度;②划片机:目前以砂轮划片机为主导,激光划片机补充,激光切...
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