专用设备：半导体射频电源专题：激荡频波，驭势而行！-20240304-天风证券-48页

行业报告行业专题研究证券研究报告2024年03月04日专用设备半导体射频电源专题：激荡频波，驭势而行！作者：行业评级：强于大市（维持评级）分析师朱晔SAC执业证书编号：S1110522080001上次评级：强于大市1分析师张钰莹SAC执业证书编号：S1110523080002请务必阅读正文之后的信息披露和免责申明摘要射频电源：高技术壁垒核心零部件✓射频电源是可以产生300KHz-300MHz频率的高频交流电源，虽然射频的频段很宽，但半导体设备用的射频电源工作频率一般处于2MHz至60MHz之间。核心技术难点在于参数稳定性、控制精度与阻抗匹配。随着技术的不断发展，市场将逐渐向高频、高功率、小型化和能效方向发展。射频电源应用：✓1）半导体：刻蚀、薄膜沉积、干法清洗、离子注入等。2）光伏：PECVD、RPD等。3）面板：TFT阵列、CELL成盒制作等。半导体射频电源市场：国外头部企业垄断、市场集中度较高✓2022年全球半导体射频电源市场销售额达到了7.26亿美元，预计2029年将达到14.57亿美元，年复合增长率（CAGR）为11.18%（2023-2029）。中国市场（含中国台湾地区）2022年市场规模为96.6百万美元，约占全球的13.31%。✓2022年，全球第一梯队厂商主要有万机仪器、美国优仪（AE）、日本大阪变压器株式会社，占有大约52.95%的市场份额。海外半导体射频电源公司如何发展：✓MKS：向半导体行业提供环形等离子体源的领导者，面向FinFET开发自适应脉冲技术，以一致的脉冲提供射频功率。✓AE：拥有更稳定的eVerest系列射频等离子体发生器、更快更准的NavigatorII系列射频匹配网络，专有算法PowerInsight应对匹配网络生命周期的不确定性。深耕全射频传输系统，为...