证券研究报告京仪装备：国内半导体专用温控/废气处理设备专精特新“小巨人”股票投资评级：买入首次覆盖吴文吉中邮证券研究所电子团队中邮证券2024年4月14日1京仪装备·业务版图2016年成立集成电路装备+泛半导体领域2023年上市二晶圆传片设备集成电路工艺腔体单端WaferSorterProcesschambers腔口四双端半导体专用工艺腔口废气处理设备LocalScrubber在制程中主要应用于晶圆的下线、制程间倒片的卡控和✓主要应用于12吋集成电产品出厂校验、排序以及有翻片需求的工艺，批量应用路制造产线中刻蚀、薄于逻辑芯片90nm-28nm等膜、扩散等工艺，用于各种工艺需求将各工艺环节中产生的工艺废气进行无害化处理，批量应用于90nm-28nm逻辑芯片、64层-半导体专用温控设备192层3DNAND存储芯Chiller片等各种工艺需求；三通✓适配泛林半导体、东京道单双✓在制程中主要对反应腔进行温度控制电子、应用材料、日本，主要应用于12吋晶圆前道刻蚀、化国际电气、中微公司、通通学气相沉积等工艺，批量应用于逻辑北方华创、屹唐股份等芯片90nm-14nm，64层-192层3D设备公司的主工艺设备道道NAND存储芯片等各种工艺需求；✓适配泛林半导体、东京电子、应用材生产性服务料、中微公司、北方华创、屹唐股份等设备公司的主工艺设备2资料来源：公司招股说明书，中邮证券研究所请参阅附注免责声明投资要点➢深耕半导体专用温控/工艺废气处理设备，龙头客户大批量装机形成先发优势，新客户导入及放量顺利。公司主要销售收入来自半导体专用设备产品：2022年，半导体专用温控设备/半导体专用工艺废气处理设备/晶圆传片设备的收入占比分别为56.28%/40.30%/3.42%。2020...
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